真空泵开始工作之前，首先由粗真空泵运行，抽真空达到一定的真空度后，这台*真空泵启动进行高精度抽真空。

     旋转部件全部装配在泵体内，工作转速24000r/min。真空泵体直径约400mm，高约500mm。真空泵工作时，用一块圆形的有机玻璃板盖在真空泵体上，靠密封胶条密封。需要加校正配重块时，真空泵停止旋转破坏真空，打开有机玻璃盖板，在泵体内的转子上加校正配重。

    转速信号和相位参考信号只能用光电传感器通过有机玻璃盖拾取贴在转子端面上的发光带的反光信号，生成与转子同频率的脉冲。由于真空泵体是铝制品，所以具有磁力座的振动传感器只能吸附在真空泵支腿上，因为支腿是由磁性材料角钢制成的。