分子泵被广泛应用在制灯、玻璃镀膜、柔性太阳能电池设备及科研设备中，在应用过程中难免出现故障，其中有一种故障是由转子动平衡不好引起的，需要重新进行转子动平衡。 2016年4月我公司应苏州某机电公司需求对该公司出现动平衡故障的分子泵进行了动平衡服务，服务报告如下：

分子泵动片图片

        分子泵要求精度很高，内部轴承是陶瓷轴承，由动片与静片组成，美欧机电公司有一台分子泵动平衡做到1.4mm/s，再也无法做下去，找不到原因，故此请我公司到现场处理。

        我们采集分子泵初始振动测得振动速度有效值为3.6475mm/S ，基频副值为1.8138mm/s，依据数据可初步判定出分子泵处于动平衡不良造成的振动大，但因为观察分子泵底座是由尼龙垫罗列而成所以基础不稳，可能造成振动大的部分原因。根据频谱显示3倍频4倍频频繁出现1/2倍频也略微出现。轴承与轴之前有间隙。因1倍频占主导所以可做动平衡。

初始振动

        经过一次平衡，振动有效值从3.6475mm/s降到2.5587mm/s二次平衡降到了2.0257mm/s

一次平衡数据

二次平衡数据

        再继续动平衡就没什么效果了，振动值始终没有变化，趋势还会上升，因此让现场人员把分子泵拆开，经过现场人员拆解分子泵，用烤枪烘烤，始终没有拆开，无法检查分子泵内部，为了让厂家更明显的看出动平衡量效果，把分子泵转子本身所有配种全部拆掉（包括出厂配重）。

        经过拆解配重测得数据反而振动值减小了，再次进行动平衡校正。如下图：

一次平衡

二次平衡

        最终振动有效值降到1.0881mm/s，基频振动降到0.2187mm/s，这可以看出，分子泵振动不是因为转子动平衡的原因造成的。

处理意见：

首先分子泵底座需要更换，做个工装稳定底座避免分子泵晃动，（铁板也比尼龙板好）不要罗列多层这样会不稳，因为分子泵转速过高。

拆解分子泵检查轴承是否损坏、轴承与轴之间是否调好间隙。

拆解后动平衡需要重新调整。

加试重时看看相位、副值是否有变化，（20%左右）有变化再进行配重

每次做动平衡时配种质量要注意，拧少勿多。

动平衡采集数据时转速要一致，初始振动与试振动不能偏差太大。

因为分子泵要求精度很高，一次配重降不到合格范围，进行二次配种，如果二次配种还没有达到合格范围，或是增大，把这次配种拆掉，用上组数据做初始振动，再进行试重，平衡操作。